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SEM中EDS分析高空间分辨率和低能端性能。将Extreme电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合,灵敏度比传统大面积SDD高15倍。◆设备特点可对锂元素进行检测和成像加速电压小于2kV时块状样品中的空间分辨率低于